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第71章 再次简化的实验机（第1页）

跑完步，吃完早餐还不到8点，路阳驱车赶到申城微电子，还没到上班时间，会议室便挤满了人，看来是昨天的好消息让大家都找回了信心。会议室内，大部分人都在议论昨天的事。“大连光源不愧是华国激光领域的龙头，一口气连续突破20，25KW的极紫外光源。”“虽然距离国外还有一定差距，但用于EUV光刻机已经足够，这个差距要不了多久就能追上，主要是DPP-EUV是自主研发的，我们在这块已经被卡脖子太久了。”“这下压力来到23所这边了，要把193纳米波长的极紫外光光变成13.5波长，除了计算模型、控制系统、对设备的要求还极其变态，全都是微观级别的操作。”“这才是真正的微操啊！”路阳心想，比玩游戏时的微操难万倍。路阳直接朝柴文政走过去，笑道：“柴教授，好久不见啊！”柴文政与丁冉还有坐在他们身后的5人应该都是23所的，纷纷起身打招呼，毕竟整个项目是由华芯提供资金的，而且很多关键零部件都是华芯那边采购而来，对路阳的尊敬也是发自内心。“路总，好久不见，光源部分解决了，接下来压力来到我们这边了，还需要华芯这边多多支持啊。”柴文政说道，虽然大家明面上都是一个小组的，但暗里各单位都在竞争，当然这种竞争关系是良性的。丁冉也笑道：“我们现在已经设计出几十套光路布置，但没办法展开试验，镜片的吸收与反射数据只能靠资料中的数据来做预估，我觉得还是要做测试才准确些。”路阳明白对方的意思，13.5纳米波长的光源需要实验机组装完成后才能获得，对方等不了这么久。“你们的意思是打造一个真空环境来测试镜片的吸收与反射数据？”丁冉一怔，看来眼前的年轻老总并非什么都不懂，这就判断出她的意图。柴文政加入讨论：“只是测试的光源是193纳米的深紫外光，丁冉的意思是用这个数据来推算，但我们现在还无法判断这跟13.5纳米的极紫外光之间是否存在关联。”路阳翻开手中的资料，找到光源部分看了下，接着问道：“有没可能做个简单的装置出来，只需要连续两次击打液态金属锡就能获得极紫外光，我们单块镜片测试。”两人双眼一亮，是啊，支持测试的话，不需要持续的极紫外光，这样就规避掉计算与控制系统，每秒5万次确实难度巨大，但如果只是需要连续击打两次的话就简单很多了。“路总，您简直就是天才啊？这方案似乎可行。”丁冉燃起希望，有时候局外之人反而能提供新的思路。柴文政点点头，“可行，甚至还可以把光路布置加入其中，哪怕不是持续光源，也可以获得对应数据。”193纳米的深紫外光需要连续击打两次液态金属锡，第一次击打使金属锡的面积扩大，第二次击打就可以获得13.5纳米的极紫外光了，这两次间隔的时间极短。门外响起众人哗然的声音，正是廖老跟白学礼到了。能看出廖老的精神状态非常好，哪怕是刚从长春赶来的白学礼也是满脸笑容。“都坐吧，大连光源已经可以制造25KW放电泵浦极紫外光源，大家应该都知道了吧，这是我们小组取得的又一重大技术突破，今天把大家叫过来，一是分享这个好消息，另一个目的就是激光系统的设计进度。”也许是好消息的刺激，路阳感觉廖老的声音比平时更加洪亮有力。“这套激光系统主要解决的就是制造持续的13.5纳米极紫外光，每秒5万次击打，这需要有适配的数学模型，还需要精密的控制设备，计算组那边已经向上面申请神威·太湖之光协助计算，另外数学模型设计方面，在华科院的全力协助下，完成了十几个适配的数学模型，等超算计算后再做最后的选择。”神威·太湖之光，华国性能排名第一的超级计算机，位于华国无锡。没想到光刻机的制造连超算都用上了，这再一次刷新了路阳的认知。“廖老，关于光学系统，我们这边有个想法。”众人纷纷看向柴文政，廖老也投过来诧异的目光，计划中他们这边需要等到实验机组装完成后才能开展试验，现在只能通过小程序设计光路布置。柴文政把刚刚跟路阳商议的方案介绍了一遍，刚说完想法。白学礼的声音便响起：“这个方案不错，再多的设计没有实验支持都不可靠，镜片的实际参数也需要测试后才能最终准确，资料中的参数也不一定都对。”廖老低头沉思，他需要思考的是整体进度问题，实验机的组装最快也要到春节后，这一个多月的时间不能浪费。“说说看你们对实验的想法。”丁冉说道：“廖老，我们只需要打造封闭的真空空间，用镜片做简易的光路布置，加入实施监测系统，最后再使用激光器制造193纳米的深紫外光击打液太金属锡即可。”廖老继续问道：“你们有没考虑过，光源多次反射后最后的承载工具，还得加入工作台与硅片才行，这其实已经是再次简化版的光刻机了，这个实验空间需要花多少时间？”柴文政回答道：“实验可以实现三个目标，一是对镜片的反射与吸收数据做收集，第二是光路布置的可行性判断，最后是抵达工作台的极紫外光是否可用，至于需要多久才能建好，还需详细的方案。”显然这个方案是能加快整个进度的，廖老并未反对，当即在会上展开了落地细节的各项讨论。最后通过一早上的讨论，廖老同意了该方案，并由柴文政负责，其他人全力配合。会后路阳来到廖老办公室，向两人汇报了海思那边的进度。“等镜片到位我跟你去看看吧！得加快进度了，西方可能要提前动手了，不是元旦就是春节过后。”路阳心惊，蝴蝶效应果然还是不可避免啊！喜欢穿越就被抓，我拯救华夏芯片（）穿越就被抓，我拯救华夏芯片。

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