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“小苏啊,我给你介绍一下,我们今天几个老家伙聚一聚,也就顺便把你叫过来了,是周末。当然,你们做公安工作可能周末也不得休息。
要是万一有什么情况,我一会让秘书给你们宁江省打个电话,
这几位呢你可能不认识,我旁边的这个是李耀华,上次和你讲过,是院士,我带过的第一个博士生!!”
于老说完,又指着旁边一个个子比较矮的人,身高也就1米6左右的老人,
“这位是贺云水贺院士,贺院士是科学院院士,半导体研究所的首席研究员,也是我的学生。
再旁边是李天东院士、这个是吴朝阳院士、李天东院士是北航大学的长聘教授和学科带头人,吴朝阳院士现在应该是京北大学的教授!”
说完这些,于老笑呵呵的又说:
“他们别的头衔我也记不得了,我们几个今天就是随便聚聚,另外找你来谈谈!”
苏武忙起身站起来,实话实说,在这么多大佬面前,他还是不敢托大的。
好家伙,不算于老这个两院院士和学部委员,
一下子请了4个院士,和自己谈话?
于老还是很和蔼,示意他不要紧张,坐下,开始了随便的‘’交流‘’。
于老看着几位比他辈分小的科研前辈,直接吩咐道;
“耀华,你先开始问,问点有难度的,有技术含量的,太简单的对他来说没有挑战性!”
李耀华也不客气,于是直接就问:
“小苏,我来问问一点前瞻性的课题,你能谈谈如何突破高性能微声薄膜滤波器,比如如何研究AlScN压电薄膜图形化的思路吗?”
于老一旁的秘书石蕴璞做记录,他本身就是华清大学电子工程系毕业的硕士研究生,对于这个问题,说实话,他不怎么了解。
听到这个问题,苏武愣了一下,
见此情况,秘书石蕴璞心里暗自窃喜,他觉得苏武一个大专毕业的根本不可能知道,
于老越是把苏武说的怎么厉害,倒让他产生了一种文人相轻的感觉!
实际上,苏武听了这个问题,心里很坦然,因为李耀华问的问题倒是他过去从事的方向之一,在2009年之前,这个问题一直没能突破。
但苏武那时候,AlScN微声薄膜的制备工业化已经很成熟了,他刚才稍微停顿了一下,似乎从石蕴璞的脸上看到一丝窃喜,故意多停顿了几秒,整理思路回答道;
“在AlScN微声薄膜滤波器的制作过程中,通常需要对薄膜进行两次图形化刻蚀操作,以我的了解,国内现在普遍采用剥离工艺,利用这种技术光刻出图像。
AlScN薄膜生长时,衬底温度会直接升高,而如果时间较长,光刻胶就会因高温碳化无法去除,导致剥离失败。
干法刻蚀的RIE是普通反应离子刻蚀,但因为离子浓度低,刻蚀速度慢,工艺调整空间小,时间一长光刻胶就碳化了。
ICP-RIE刻蚀速度快,是最佳选择,得控制和研究ICP-RIE的刻蚀过程,所以在AlScN压电薄膜图形化中,所以对国内的研究和应用发展来看,要多多研究光刻工艺中的曝光,显影以及固胶工艺参数对图形角度的影响.......”
于老的脸上露出了满意的笑容,不愧是我看中的人,没给我丢脸!
李耀华和其他几个院士都懵了,这小子是个天才吧,这怎么什么都知道?
石蕴璞彻底石化.......
.......
苏武不傻,他也想平凡正常一点,但是重生以来已经一切由不得他了。
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