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一秒记住【xiaoyanwenxue.com】精彩无弹窗免费!赵龙腾看着赵岂年,呵呵一笑,并未说什么,而是站了起来,给自己泡了壶大红袍!
这玩意,赵龙腾金贵的很,从来不舍的给赵岂年喝!
“你小子真是神了,居然能用计算法推算出用水可以推进光刻机的进步!”
“虽然有点差异,但是我们成功了!”
赵岂年早就想好了的说辞,这一次终于派上用场了!
“这可不是我计算的,是我花高薪聘请了国外的数学家帮我计算的!”
“油浸法在光刻机领域一直都有使用,我就想到了水是不是也可以,他们都可以折射光!”
“然后,我就请人以油浸法的模型推算了水的可行性!”
“我最多就是想到了,灵光一现吧…”
赵龙腾笑了笑,没有发表看法,这个说法他实际上是接受的,不然真的解释不了!
光刻机从出现开始,到现在,光源被卡在193nm无法进步长达20年。
这就是著名的ArF准分子激光,包括近视眼手术在内的多种应用都应用这种激光!
到现在,相关激光发生器和光学镜片等都比较成熟。
就是到后来,市面上用的所有手机电脑主芯片仍旧是193nm光源光刻出来的。
光源卡住了,想让精度更高,只能从其他方面入手。
伴随着光源被卡主,光刻机的精度,其实也同样被卡住!
193纳米是一个分界岭!
全球高科技领域,甚至是米国政府,都插手这个事情,组成了联盟!
但是,尝试了很多方法,提出了很多解决方案,依旧没有成功!
最后,一切都败给了工程上最简单的解决办法,在晶圆光刻胶上方加1mm厚的水。
水可以把193纳米的光波长折射成134纳米!
浸入式光刻成功翻越了157纳米大关,直接做到半周期65纳米!
加上后来不断改进的高NA镜头、多光罩、波段灵敏的光刻胶等技术,浸入式193纳米光源的光刻机一直做到后来的7纳米!
而按照原来的历史,2002年浸入式193纳米的方案才会被提出,随后ASML在一年之后才开发出样机!
而现在,还没到2002年!!
光刻机跨越193纳米,是无数次尝试的结果!
赵岂年的存在,让这个方案提前了两年!
同时,在赵岂年大量资金的推动下,国内的研究和开发要提前两年!!
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