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第277章 历史性时刻（第1页）

“人员都已经到齐了，可以随时开始测试。”光电技术研究所徐昀身穿着专门的研究服，安排妥当后向身旁科学院院长侯盛昌汇报。

同样穿着研究服的侯盛昌，闻言立刻抬手道：“你是项目负责人，按照自己的安排进行即可，我这次过来主要是旁观。”说话的语气很是柔和，丝毫没有要喧宾夺主进行指挥的意思。

当初他看中徐昀的实力，亲自前往京州大学邀请其负责光刻机项目。

到今天不过才一年多的时间。

但收获却甚是巨大。

徐昀带领光电技术研究所项目团队，成功制造出了国内首台极紫外光刻机。

具备深远意义。

可以说是让国产半导体领域迈入了新的里程碑。

得知首台极紫外光刻机就要进行芯片测试时，他几乎没有任何迟疑，第一时间推掉了后面的行程乘坐飞机从帝都赶到锦城。

作为如此重要的时刻，他这个院长肯定要亲眼见证这伟大的一幕。

徐昀知道侯盛昌的性格，自然不会在这种小事上去想太多，当即嘴角噙着笑容应声回答。

“我明白了院长。”

说完便对工作人员下令道：“开始吧。”

与此同时坚守现场的罗长辉杨靖等人，尽管都穿着专业服装，却难掩心中的兴奋和激动。

他们作为研发光刻机的老人，不知多少次做梦都想看到国产极紫外光刻机，如今这个梦想眼看就要彻底变成能够触摸的现实，想依旧保持内心的平静和沉默，那实在是太难了。

甚至就连侯盛昌的呼吸都急促起来。

不过越是这个时候，大家心底那丝担忧的情绪就越发强烈。

倒不是说不信任自己这么长时间做出来的成果，只是事情没到最后一刻任何事都有可能发生。

确实难以把心彻底放下。

此次测试关乎整台光刻机的性能，只有通过测试才能进行到下一个交付环节，否则便要重新优化调试检查问题所在。

但局面变成这样的话，就不知道中间要消耗多长的调试时间。

肯定无法按照之前公开的时间交付光刻机，到那个时候半导体领域势必进一步恶化。

这种情况绝对是在场所有人都不希望看到的。

因此随着徐昀正式下达命令后，所有人都全神贯注耐心等待最终结果。

2021年6月5日，这对于国内半导体领域绝对是无比重要的一天。

研究所内由几十万零部件组成的精密仪器让人很难能移开目光，在这一刻仿佛已经形成了艺术品。

同时其价值也是普通人难以想象的。

不夸张的讲，一台极紫外光刻机的售价都高达几十亿美刀。

而徐昀采用全新核心技术研发的这台光刻机，相比阿斯麦成本上要低不少。

这点也算是国产极紫外光刻机的优势。

如果将来相互竞争的话，那么对方将很快失去原有的竞争力。

关于前期的材料准备工作早已经完成，制作成的芯片级单晶硅棒已经被切成薄片，变成高纯度的芯片级硅片也就是晶圆。

想要将晶圆制作成芯片，首先需要准备的是光刻掩膜版。

其作用是将芯片的功能模块电路系统以及物理结构地图绘制在印刷母版上，如此才能开始后面芯片的批量制造生产。……

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