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第36章 EUV光源（第1页）

“我叫路阳，马路的路，阳光的阳！”路阳脸上一直挂着微笑，没有一点几百亿企业老板的气场，反而更像高校里跟着教授跑腿的研究生。介绍完自己，接着又说道：“半导体芯片直接决定着一个国家的科技发展，不能被任何个人、企业把控，也不能被西方欧米势力卡住要害，华芯的目标便是要在5年内，让华国半导体芯片实现完全自主化研发，在技术上实现全球第一。”“我能为各位提供的就是资金保障，市场保障，以及落地应用方面的整合。”廖锡昌也是第一次听到路阳的目标，老人轻轻点头，他是真的把路阳当成了自己的学生，华芯如今的成绩已经足够亮眼，但他从未在路阳身上发现半点自满。“说得好，路总！”专家组中有人说道。“行了，还是叫他小路吧，华芯在申城松江那边的光刻机生产线计划投入500亿，从立项开始就是为了自主化研发，中芯国际的情况不能再次出现，动不动就被别人禁这禁那的。”廖锡昌说完又看向新来的4人，“四位都说说看吧，一下午的时间，应该了解得差不多了。”柴文政年纪最大，率先开口：“廖老，各位前辈，路……，小路，大家好，在离子束抛光技术上，要想实现0.02纳米的光滑级别，以现在长春光机所的设备还不够，需要从所里那边调配几台设备过来。”“目前23所在0.1纳米抛光技术上已经有所突破，但是从0.1纳米到0.02纳米，还需时间进行验证，专利部分不用担心，所里的设备拥有完整的专利壁垒。”“我补充一点，光是设备还不够，只有结合镀膜技术才有机会突破1纳米，所里这方面的技术还没达到资料上的水平，好在资料的内容十分详细，完全掌握不会太久，廖老，这份资料的镀膜技术23所那边可以使用吗？”丁冉补充说道，如果获得这份技术授权，23所也会受益匪浅。廖锡昌开口道：“小丁啊，难就难在这点，你不光要掌握，还要加入自己的东西，才能使用。”这样一解释丁冉明白过来，看来自己猜得不错，这份绝密的技术文件，应该就是来自路阳的公司，至于获取方式嘛，商业上的行为可就多了，她也懒得去追根问底。“明白了，廖老，我大概有方向如何解决这个问题，只是所花费的时间会比原来长些，可能还得从所里把我们两人的助手要过来。”23所这边一个下午时间，便有了大概的方向，实力果然强啊，路阳心里这样想着，不由看向大连光源那边。周宇跟纪益玲是在座的众人中除了路阳外年纪最小的，说话非常客气，“各位领导，我跟益玲正巧是研究紫外光的，方向也确实在光刻机的应用上。”光刻机分为紫外光源（UV）、深紫外光源（DUV）、极紫外光源（EUV）。最早的光刻机光源为汞灯产生的紫外光源（UV），之后业内开始采用准分子激光的深紫外光源（DUV），将波长进一步缩小到ArF的193nm，后来逐步发展为ArF加浸入技术成为主流。EUV光刻技术不使用用ArF加浸入技术，而是将二氧化碳激光照射在液态金属锡上，激发出13.5nm的光子，作为光刻机光源。周宇先简要介绍了下光刻机的两种光源，接着又说道：“EUV光源由光的产生、光的收集、光谱的纯化与均匀化三大单元组成。相关的工作元器件主要包括大功率CO2激光器、多层涂层镜、负载、光收集器、掩膜板、投影光学系（Xe或Sn）形成等离子体，等离子体利用多层膜反射镜多次反射净化能谱，最终获得13.5nm的EUV光。”“资料中光的产生是激光等离子体光源（LPP），目前只有两家公司能够生产：一家是米国的Cymer，另外一家是日本的Gigaphoton。大连光源也有能产生离子体光源的激光器，但现在我们这边最先进的激光器所产生的光源功率还不够，就算镜片研制成功，多次反射后也只剩下2%的光能，所以对光源功率要求极高。”纪益玲继续翻看资料，“各位领导，结合资料中的技术来改进我们的激光器，可以达到要求，现在镜片还没生产出来，我们只能按资料里的数字要求来做，不过得回到大连光源那边才能改进。”“另外在光的纯化与均匀化方面，激光器里面出来的光虽然纯度足够，但不均匀，这样投射到晶圆上会造成各个地方的CD不一致，必须加入反射，资料中使用的是一种特殊的玻璃长方体来完成均匀化。”白学礼教授作为长春光机所的技术负责人，对两人所说非常清楚，“小周、小纪，光源及照明系统的整体设计由我们这边来完成，你们主要负责光源部分，相信这些资料能给大连光源带来启发，但是中间的配合，分隔两地效率太低了。”说完白学礼看向廖锡昌，意思再明显不过。廖锡昌思索片刻，“我会跟大连光源这边联系，把你们所需的东西搬过来，还是那句话，你俩得保障，一旦市场化，其中的技术一定要能绕开资料里的专利。”两人纷纷点头，无条件配合，来之前大连光源的领导可是再三强调过的。“老白，你看这样，先按资料中的技术，把框架搭起来，能替代的先替代，不能替代的想办法购买，或者从其他地方调过来，但是框架必须有70%以上的设备到位，还要能运行起来，你预估这要花多长时间？”白学礼想了下，“我列个清单，还需要的设备你去想办法，时间取决于设备弄到的时间。”路阳却在沉思，大连光源是国家重大科技基础设施，能不能趁这次机会，放出部分技术，成为华国的光源提供商，这个事情得推进下，华芯与大连光源联合成立新的公司，这样方便以后的市场化。特么，果然又要开支线！喜欢穿越就被抓，我拯救华夏芯片（）穿越就被抓，我拯救华夏芯片。

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