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第259章 突破14nm光刻机工艺（第1页）

华达九天兴师动众的招聘启事并没有引起业界轰动，因为EDA的盘子实在是太小了。

2021年，全球半导体产业销售额达5188亿美元，然而作为芯片基础的EDA产业却只有区区70亿美元左右，简直令人难以置信。

而中国EDA销售额在这70亿美元里面，更是连1%都没有占到。

这种情况下，外国巨头根本懒得关心中国EDA的发展情况。

就算再折腾又能怎么样？

而且话说回来了，要知道任何EDA软件都是和市场挂钩的，EDA是上游厂商、设计厂商、制造厂商、封测厂商合作的产物，任何一个环节落后或缺失，都会对EDA工具有影响。

举个最简单的例子，国外最先进的EDA软件可以设计、仿真、验证5nm甚至3nm的芯片，国内的EDA呢？目前还徘徊在28nm左右，差距就像地球到月球这么远。

就在国外EDA企业不以为然之际，中国的EDA软件，在时隔三十年后，再次扬帆起航了。

……

4月18号上午九点，中海自贸区张东路1525号。

这里是中海微电子装备有限公司（SMEE）总部，同时中星微电子装备股份有限公司（XHZZ）研发基地也设立在这里。

此时，单层面积超过5000平方米的大型实验室里，无数身穿白色无尘服的研究员正在忙碌着，还有很多类人机器人也在自由的穿梭其中，带给人一种科幻大片现场的视觉冲击！

就在这时，实验室挑高的二层参观台上涌出一大群人，老中青都有。

被众人簇拥在最前面的三人分别是GWY下来考察调研的首长，SMEE董事长孙立群以及陈序。

孙立群介绍道：“这些机器人全部是星海科技研发制造的特种工业机器人……

光源系统、摄像光学系统、调焦扫描系统、视频采集系统和监测软件等等，也是由星海科技独家研发，并且拥有全部知识产权……”

“了不起啊！难怪网上都说星海是中国科技的未来之星。”

陪同着一起超前的陈序，谦虚道：“总L过奖了，我们还有很多不足的地步。”

首长亲切的拍拍他肩膀，然后顺着参观台上设立的透明甬道朝前走去，边走边看，同时问道：“那目前主要还有哪些困难呢？”

“主要就是机械精度方面有待提高…它里面有两个同步运动的工件台，一个载底片，一个载胶片，两者需要始终同步，误差要在2nm以下，而两个工作台由静到动，加速度跟导弹发射差不多……”

孙立群抢着介绍了一番后，首长转头问右侧的陈序，“小陈你估计多长时间能研制成功？”

陈序组织了一下语言说：“如果一切顺利的话，大概今年底吧！”

说完陈序又跟到：“因为是第一次做没经验，再加上一些关键性的零部件被卡了脖子，只能通过自主研发。不过等到7nm时应该会很轻松。”

首长闻言有些讶异道：“7nm？”

孙立群再次抢着介绍道：“总L您没听错，正是7nm。

我们和星海在研发14nm以及10nm的同时也在布局7nm，而且我们的7nm技术跟国外的稍稍有些不同……”

首长听完后点点头，再次伸手拍拍陈序的手臂，“嗯，你是好样的！”

陈序被夸的有些不好意思了，呵呵笑着没说话。

一个小时后，下来考察调研的领导及随行人员乘坐考斯特离开了，陈序回到办公室直接瘫坐在了沙发里，说：“感觉比做十天实验还累。”

跟进来的中星微电子总负责人张海春，笑呵呵道：“一般搞学术的人，都不怎么喜欢这种场合，等以后习惯了应该会好一些。”

张海春是光刻机领域的大牛级人物，曾先后在ASML及台积电工作，甚至还被SMEE聘请为高级总工程师，不过后来因为某些原因离职了。

他在国际学术圈的地位比周东林还牛掰。

“呵呵，也许吧。”陈序说着坐起来点了一根烟，“超精密工件台的实验怎么样了？”

“不怎么理想，目前实验最多只能到5nm，距离要求的2nm还有一定的差距，德国跟日苯那边……”

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